 |
|
 |
ナノポジショニング技術…ナノメートルレベルの移動制御技術を、メレスグリオは過去何十年にもわたって追求してまいりました。
その間、メレスグリオは革新的な製品を次々と生み出して、精密光学及びファイバー光学分野にとどまらず、
走査プローブ顕微鏡、電子部品の位置決め、生物学サンプル操作などのその他の広い分野での、ナノポジショニング技術のニーズにもお応えしてまいりました。
ピエゾ技術…フレクシャー技術を用いることにより、ヒステリシス、クリープ、ドリフト、摩擦、及びスティクションが全く無いステージや部品ホルダを設計することが可能になります。
適切に設計されたフレクシャーを用いたデバイスでは、位置決めとアライメントの能力を制限するのはアクチュエータの機構だけです。
高分解能のサムスクリューやマイクロメーターは、数mm のトラベルにわたって1 μm 程度の精度を確保できます。
最先端の差動マイクロメーターでは、300 μm のレンジにわたって50 nm の分解能を提供し、現代的なピエゾ素子（PZT ）アクチュエータでは、
位置フィードバック圧電制御を用いて約100 μm の範囲で5 nm オーダーの移動精度と分解能を発揮できます。
|
|
