仕様
テーブルトップの厚さ:210 mmもしくは310 mm
動的たわみ係数:<0.5 ×10−3*
相対的な振動(最大):<0.10 nm*
静的負荷荷重(113 kg )によるたわみ:<1.5 μm*
平坦度:±0.10 mm (1 m2当り)
構造:・3 層のプレート、2 層のハニカムコア
トップ及びボトムプレート:熱的特性を考慮した材質、着磁性ステンレススチール、厚さ5 mm、トッププレートはつや消し仕上げ
メインコア:メッキ加工された高密度スチール製ハニカム
中間コア:メッキ加工されたスチール製シーリングカップによる
ハニカム構造、厚さ13 mm
側面:黒色処理されたスチール製、若干内側に下がっている
マウント用タップ穴のシーリング:一対の穴がターボクリーンシステムによりシーリング
マウント用タップ穴のパターン:M6 、25 mm 間隔
定盤の端から穴までの距離:50 mm(4 辺とも)
最大ねじ込み深さ:16
mm
*10 Hz 以上の振動における伝達関数 T <0.01 の除振台を使用し、PSD <10−9g2/
Hzの環境振動の条件下において、1.2 m ×2.4 m ×310 mm のテーブルトップにて測定