仕様
テーブルトップの厚さ:210 mm もしくは310 mm
動的たわみ係数(最大):<0.7 ×10−3*
相対的な振動(最大):<0.14 nm*
静的負荷荷重(113 kg )によるたわみ:<1.5 μm*
平坦度:±0.10 mm(1m2当り)
構造:3 層のプレート、2 層のハニカムコア
トップおよびボトムプレート:熱的特性を考慮した材質、着磁性ステンレススチール、厚さ5 mm
、トッププレートは、つや消し仕上げ
メインコア:メッキ加工された高密度スチール製ハニカム
中間コア:メッキ加工されたスチール製シーリングカップによる
ハニカム構造、厚さ13 mm
側面:黒色処理されたスチール製、若干内側に入り込んでいる
マウント用タップ穴のシーリング:一対の穴がターボクリーンシステムによりシーリング
マウント用タップ穴のパターン:M6 、25 mm 間隔
定盤の端から穴までの距離:50 mm (4 辺とも)
最大ねじ込み深さ:6 mm* 10 Hz 以上の振動における伝達関数 T <0.01 の除振台を使用し、PSD <10−9g2/
Hz の環境振動の条件下において、
1.2 m ×2.4 m ×310 mm のテーブルトップにて測定