このステージにより、マウント面に対して垂直方向の直線駆動が得られます。
3 列の精密クロスローラーベアリングと、マイクロメータの水平な動作を垂直方向の動作に変換するためのカム機構により、
スムーズな垂直駆動が得られます。2 台のトランスレーションステージと組み合わせることにより、簡単にX- Y- Z 軸ステージを構成することができます。
Z 軸トランスレーションステージは、黒色クロームメッキされたスチール製です。
駆動範囲は6 〜20 mm
駆動の設定感度は3μm
駆動の直進性は5 μm 、角度ズレは30 秒以内
トランスレーション、回転ステージに互換
プラットフォーム位置を固定するためのロック機構
07 TEZ 701 Z 軸トランスレーションステージ 07 TEZ 703 Z 軸トランスレーションステージ
07 TEZ 704 Z 軸トランスレーションステージ 07 TEZ 707 Z 軸トランスレーションステージ
