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X-Y-Z軸積層トランスレーションステージ
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このユニークな3軸ステージは、ヘリコイドを採用することにより独立したZ軸駆動を得ています。ステンレス製精密ボールベアリングと超硬ボールガイドにより、他の2軸のスムースな駆動が得られます。
0.35 mmピッチの調節ネジは、1.5 μmの設定分解能
黒色アルマイト処理されたアルミニウム製
駆動範囲
X、Y、Z軸
（mm）
許容負荷
荷重
（g）
設定
分解能
(μm)
製品番号
CAD図面
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センタードライブ
6、6、3.5
500
1.5
07 TMC 521
サイドドライブ
6、6、3.5
500
1.5
07 TMS 521
*調整ネジを1/50 回転した時の移動量は、7 μm です。
07 TMS 521 X-Y-Z軸積層トランスレーションステージ（サイドドライブ）
07 TMC 521 X-Y-Z軸積層トランスレーションステージ（センタードライブ）
マイクロラボ：積層 X-Y-Z トランスレーションステージ
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