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- 単軸およびX- Y トランスレーションステージ
- Z 軸トランスレーションステージ
- 一体型X- Y- Z トランスレーションステージ
- 薄型傾斜ステージ
- 回転ステージ
- ゴニオメータ
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レンズ、ミラー、偏光子等の光学部品のアライメントを調整
するための具体的手段として光学部品ホルダが多用されていま
す。例えば、偏光子ホルダは光軸に対する回転手段を提供し、
ミラーマウントは光軸を横切る軸（ピッチおよびヨウ）に関する
角度調整手段となります。しかしながら、所望の直進あるいは
角度調整が光学部品に与えられるよう、光学部品のマウントシ
ステムには特別にデザインされたステージを使用することが望
まれます。
空間にある物体の動きと位置を完全につきとめるためには、3
つの直進（トランスレーション）運動および3 つの角度（回転）運
動を用いることが必要です。これらの6 つの自由度は、光学部
品のアライメントの説明の基準となり、またキネマチック理論
の基礎となります。完全な保持がなされている光学部品に対す
る自由度の中心点を規定するためには、自由度の各々が夫々個
別に強制されている必要があります。6 つの自由度は、自由度の
デカルトのフレームを用いることにより、X （光軸）、Y 、Z 軸の
3 つのデカルトの軸と、角度に関する3 つの回転軸（ピッチ、ヨ
ウ、およびロウ）として仕様化されます。
本章で説明するステージは、共通のホールパターンを有して
います。全てのステージは、可能な限りコンパクトにデザイン
されており、またその高さは25 mm の倍数になるよう設計され
ています。ここで紹介するステージは、1 〜6 の自由度の直進ま
たは回転駆動を光学部品ホルダに与え、位置決めおよびアライ
メントを容易に行えるよう単体または積層して使用することが
できます。 |
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