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ビームアライザー® USBシステム

 特長  
  処理技術:トモグラフィック画像復元法による
2Dおよび3Dプロファイル
  多機能:ビームプロファイル、ビーム径、
ビーム形状、位置およびパワーの測定
  柔軟性:190 nm〜1800 nmの広帯域を複数の
機種でカバー
  精度:0.1 μmの分解能でビーム径を測定
(ビーム径:<100 μmの場合)
  コンパクト:測定ヘッド、USB 2.0接続ボックス、
ソフトウェアで構成
 主な機能  
  新規の12ビットA/D変換
  全てのモードにおける高分解能サンプリング
  ビームプロファイル、ビーム径、ガウシアンフィットのリアルタイム測定
  ビーム形状の2Dおよび3D表示
  ビームの重心位置、楕円率、およびパワーの測定
  Excelファイルで直接データログを作成
  RS232またはTCP/IPを介したデータ出力
  画像およびスナップショットの保存
  合否判定レポートの作成
  プログラミングのためのWindows制御ライブラリ

新たに開発されたUSBバージョンのビームアライザーシリーズは、USB 2.0インターフェース、12ビットのシステムが採用され、Windows XP / Vista / 7環境で動作し、ナイフエッジによる高解像度サンプリング能力が強化されています。
この高精度ナイフエッジビームプロファイラは、190 nm〜1800 nmの波長範囲と3 μmから10 mmまでのビームサイズを複数のディテクターヘッドによりカバーし、広いダイナミックレンジを有しています。
システムは、ディテクターヘッド、USB 2.0外部接続ボックス、NG4およびNG9のショット社製NDフィルター(SiおよびUV-Siタイプのみ)、マウンティングポスト、ソフトウェア(CD-ROM)、キャリーケース、および取扱い説明書で構成されています。

ビームアライザーUSBは、高い分解能とダイナミックレンジによる非常に小さなスポット光の測定能力と、CCD方式に迫る3次元プロファイルの表示機能を兼ね備えています。
この測定技術は、多数のスキャニングナイフエッジによる測定原理と、2Dおよび3Dプロファイルを表示するためのトモグラフィック画像復元法の組合せを基本としています。ドラムの回転に伴い、ビームの伝播方向に直行する面内で、ナイフエッジがビームを遮っていきます。同時に、回転ドラムの内側に位置し、十分な大きさを持つセンサーが、ビームの光量を測定します。入射パワーの減衰が必要な場合には、歪みの無い光学フィルターを回転ドラムとセンサーの間に差し込むことができます。この構造により、ビーム自体に影響することなく減衰が可能となります。各々のナイフエッジは異なる角度でドラム上に配置され、ドラムの回転により異なる方向でビームを横切ります。その結果、ドラムが一回転する間に一連のプロファイル曲線が得られ、異なる方向のビーム強度プロファイルが各々求められます。このデータを基に、トモグラフィック画像復元法によりビームの2Dおよび3D強度プロファイルが算出されます。
ビームアライザーUSBには、2種類のタイプのディテクターヘッドをご用意しています。 7枚のナイフエッジを持つタイプは、7方向のスキャンから集めたデータにより、複雑な形状を持つビームの測定にも対応します。一方、3枚のナイフエッジのみを持つタイプは、ガウシアン分布に近く、小径であるビームの測定にお奨めします。ガウシアン分布ではないビームの場合には、7枚刃のタイプを使用することにより、実際のビーム形状に合致した結果が得られます。


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